Fri, 18 Nov 2022 01:06:08 +0000 https://www.visacardi.com/products/detail/1538.html 該產(chan) 品實現了三維空間上的準確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(you) 點，可應用於(yu) 在SEM真空腔體(ti) 內(nei) 完成各種納米精度運動操作。

該產(chan) 品使用壓電陶瓷驅動，運動無需潤滑，並可在很廣的溫度範圍內(nei) 工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程範圍內(nei) 達到亞(ya) 納米分辨率的定位。

三軸探針台由三個(ge) 單軸運動台組合而成。一個(ge) SEM腔體(ti) 內(nei) 可安裝多個(ge) 三軸探針台。平台上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。