納米位移台的電氣噪聲如何影響位移精度
納米位移台是一種高精度運動控製設備,常用於需要高分辨率和精度的應用中,如光學對準、掃描探針顯微鏡、半導體製造、和單分子操縱等。然而,電氣噪聲對納米位移台的位移精度有著顯著的影響,這種影響可能會降低係統的整體性能,並導致測量和定位誤差。
電氣噪聲的來源
電源噪聲: 來自電源的電壓波動或紋波(如開關電源...
如何在納米位移台中設計抗振動和抗噪聲措施
在納米位移台中設計抗振動和抗噪聲措施是確保其高精度和高穩定性的重要環節。納米位移台的性能容易受到環境振動和電氣噪聲的影響,導致精度下降和誤差增加。以下是一些有效的抗振動和抗噪聲措施的設計策略:
1. 抗振動措施
a. 機械隔振
隔振平台: 使用被動或主動隔振平台(如氣浮隔振平台、彈簧隔振平台)將納米位移台與...