幹式液氦溫區探針台
幹式液氦溫區探針台是卓聚專(zhuan) 為(wei) 樣品的非破壞檢測和真空潔淨而設計的，測試靈活，廣泛應用於(yu) 直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。利用住友F-50連續流型、變溫製冷係統，低溫可達6k，同時配備自動溫度控製器（穩定度為(wei) 0.05 K)，帶有觸控界麵和LabView驅動，工作溫度範圍在6 K to 400 K 。另加防輻射窗口可截斷樣品更大的熱輻射，可測量更大的尺寸樣品。
幹式液氦溫區探針台 產(chan) 品優(you) 勢
1.真空腔體(ti) ：真空度優(you) 於(yu) 6×10-4Pa。降溫後優(you) 於(yu) 6×10-5Pa。留有2個(ge) 用戶法蘭(lan) 接口（KF40可接入氣體(ti) 或者額外的電纜）；
2. 探針控製：標配6個(ge) 探針臂。調節範圍50mm*50mm*30mm，調節精度優(you) 於(yu) 10um。每個(ge) 探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品台底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；
3. 顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(you) 於(yu) 2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；
4. 變溫樣品台：50mm直徑。變溫範圍：30K~400K。控溫穩定性優(you) 於(yu) ±0.01K；
5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為(wei) 光纖；
6. 係統直流漏電低於(yu) 1pA；
7. 產(chan) 品含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀(yi) 。
幹式液氦溫區探針台產(chan) 品參數
| 型號 | LTZ-6H-06 |
| 外形 | 838*800*1355 |
| 係統功率 | 2.5KW |
| 電壓 | 380V三線交流 |
| X-Y軸行程定位精度 | ±0.01mm |
| 探針調節精度 | ±0.01mm |
| 腔體真空度 | 1.0*10^-6pa |
| 重量 | 200kg |
| 測試直徑 | 6/8/12寸 |
| 探針軸行程 | 110mm |
| 探針XYZ行程 | 15mm |
| 製冷方式 | 幹式液氦製冷 |
| X-Y軸額定速度 | 手動調節 |
| 腔體直徑 | 245mm |
| 探針臂數量 | 6 |
| 冷頭功率 | 1.5KW |
| 溫度下限 | 3.5K |
| 探針臂 | 每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品台底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜 |
| 顯微鏡倍率 | 4X~9X（使用1X附加物鏡時） |
| 地腳 | 底部塑膠減震地腳 |
| 探針頻率 | 26GHz—100GHz（可選） |
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