超高真空微型光柵尺-SMG26係列

超高真空光柵尺SMG26係列-微型光柵特點：

光柵尺體(ti) 積小，結構緊湊；適用於(yu) 超高真空使用；良好的耐高溫性，高可達100°C；精度高，精度±3μm（20°C）；采用玻璃柵尺，膨脹係數小，讀數穩定性良

好；分辨率高，配合TF15細分接頭，讀數分辨率可達4nm；安裝容許公差大（容許誤差±0.1mm）。

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