壓電三軸納米探針台

壓電三軸納米探針台實現了三維空間上的準確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(you) 點，可應用於(yu) 在SEM真空腔體(ti) 內(nei) 完成各種納米精度運動操作。

壓電三軸納米探針台使用壓電陶瓷驅動，運動無需潤滑，真空兼容，並可在很廣的溫度範圍內(nei) 工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程範圍內(nei) 達到亞(ya) 納米分辨率的定位。

三軸納米探針台由三個(ge) 單軸運動台組合而成。一個(ge) SEM腔體(ti) 內(nei) 可安裝多個(ge) 三軸探針台。平台上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。

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通過壓電納米位移台的納米精度定位，兩(liang) 個(ge) 探針通過與(yu) 樣品接觸，完成在SEM裏實現對二維材料的電學測量。

同樣的,通過壓電納米位移台也可以在更多領域完成高精度實驗,例如可應用於(yu) 納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等。

同時產(chan) 品可以適配市麵上大多數的SEM，例如：日本電子，日立，FEI,TESCAN等。

壓電三軸納米探針台技術參數

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