等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術基礎
今天必威betwei小編來給大家介紹一下等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備的技術基礎。1、等離子體增強化學氣相沉積的主要過程
等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術是借助於輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的製備技術。由於PECVD技術是通過應氣體放電來製備薄膜...
什麽是等離子體增強化學氣相沉積係統?
等離子體增強化學氣相沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)
等離子體增強化學氣相沉積-製取方法
在沉積室利用輝光放電使其電離後在襯底上進行化學反應沉積的半導體薄膜材料製備和其他材料薄膜的製備方法。等離子體增強化學氣相沉積是:在化學氣相沉積中,激發氣體,使其產生低溫等離子體,增強反應物...
什麽是納米位移台?納米位移台的工作原理是什麽?
必威betwei小編為您介紹一下什麽是納米位移台以及納米位移台的工作原理是什麽。
納米位移台由壓電陶瓷驅動器、柔性鉸鏈機械係統、傳感器、控製器、軟件及標定係統組成,是儀器和設備領域的共性關鍵器件。廣泛應用於半導體設備、顯微成像、納米技術、激光與光學、航天航空、生物醫學、航天航空、國防軍工等領域。
納米位移...