什麽是納米位移台？納米位移台的工作原理是什麽？
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納米位移台由壓電陶瓷驅動器、柔性鉸鏈機械係統、傳(chuan) 感器、控製器、軟件及標定係統組成，是儀(yi) 器和設備領域的共性關(guan) 鍵器件。廣泛應用於(yu) 半導體(ti) 設備、顯微成像、納米技術、激光與(yu) 光學、航天航空、生物醫學、航天航空、國防軍(jun) 工等領域。
納米位移台的工作原理
納米位移台主要采用運動控製技術，由光、機、電、控製軟件等多領域技術集成的運動控製技術。
內(nei) 部由一個(ge) 或多個(ge) 壓電陶瓷作為(wei) 驅動，其產(chan) 生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產(chan) 生的運動傳(chuan) 遞和放大；經電容傳(chuan) 感器將運動信息傳(chuan) 遞給控製係統，再由控製係統對該運動進行修正、補償(chang) 和控製；在對運動係統進行閉環控製時，可實現納米、亞(ya) 納米級別的運動分辨率和運動控製精度。
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