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納米位移台的靈敏度是指它能夠檢測到的Z小位移量。一般來說，靈敏度越高，位移台就能夠測量到更小的位移量，但相應的，測量的誤差也會(hui) 變大。
納米位移台的靈敏度受到多種因素的影響，包括位移台的機械結構、傳(chuan) 感器的靈敏度和放大器的放大倍數等。在實際應用中，靈敏度可以通過調整位移台的機械結構和使用更加靈敏的傳(chuan) 感器來提高。
例如，使用基於(yu) 幹涉儀(yi) 原理的激光幹涉儀(yi) 或幹涉型壓電傳(chuan) 感器作為(wei) 位移檢測器可以提高納米位移台的靈敏度。此外，通過使用高精度的控製電路和放大器，可以進一步提高納米位移台的靈敏度。
需要注意的是，提高靈敏度並不一定意味著獲得更高的測量精度。在實際應用中，需要綜合考慮測量範圍、靈敏度、測量精度等因素，選擇適當的靈敏度設置以獲得準確的測量效果。
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