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納米位移台的反饋傳(chuan) 感器用於(yu) 準確檢測和控製位移，確保高精度的運動控製。常見的反饋傳(chuan) 感器類型包括以下幾種：
1. 電容式傳(chuan) 感器（Capacitive Sensors）
原理：利用電容變化來檢測位移。傳(chuan) 感器由兩(liang) 個(ge) 電極組成，當位移發生時，電極之間的距離變化引起電容的變化，從(cong) 而測量出位移量。
優(you) 點：具有高分辨率和精度，適合納米級位移測量。
應用：常用於(yu) 要求高精度、高穩定性的場合，如原子力顯微鏡（AFM）和其他光學儀(yi) 器。
2. 光學幹涉儀(yi) （Optical Interferometers）
原理：基於(yu) 幹涉原理，通過測量光的相位變化來確定位移。幹涉儀(yi) 通過分裂和重新合並光束，根據幹涉條紋的變化來計算位移。
優(you) 點：高分辨率和精度，能夠達到亞(ya) 納米級別的測量精度。
應用：常用於(yu) 超高精度要求的應用，如半導體(ti) 製造和計量學領域。
3. 光柵尺（Grating Encoders）
原理：利用光柵尺的標尺和讀數頭之間的光學幹涉效應來檢測位移。通過讀取光柵的周期性結構，傳(chuan) 感器可以輸出準確的位移信息。
優(you) 點：具有良好的穩定性和高分辨率，適用於(yu) 大範圍內(nei) 的高精度位移測量。
應用：廣泛應用於(yu) 機床、運動控製和自動化設備中。
4. 電感式傳(chuan) 感器（Inductive Sensors）
原理：基於(yu) 電磁感應原理，通過感應線圈中的電感變化來測量位移。通常包括LVDT（線性可變差動變壓器）和RVDT（旋轉可變差動變壓器）。
優(you) 點：結構堅固，抗幹擾能力強，適合在惡劣環境中使用。
應用：適用於(yu) 工業(ye) 控製和測量環境，如自動化設備和機械手臂。
5. 壓電傳(chuan) 感器（Piezoelectric Sensors）
原理：基於(yu) 壓電效應，通過檢測壓電材料在位移時產(chan) 生的電荷變化來測量位移。
優(you) 點：響應速度快，適合動態位移測量。
應用：常用於(yu) 振動分析、聲波探測和動態力學測量中。
6. 霍爾效應傳(chuan) 感器（Hall Effect Sensors）
原理：利用霍爾效應，通過檢測磁場變化來測量位移。位移台通常配備一個(ge) 磁體(ti) ，傳(chuan) 感器通過磁場強度的變化來確定位置。
優(you) 點：非接觸式測量，具有較高的耐用性和可靠性。
應用：適用於(yu) 需要非接觸式檢測的場合，如磁懸浮係統和機器人。
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