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在納米位移台上實現振動隔離對於(yu) 確保高精度的定位和測量至關(guan) 重要。振動隔離可以減少環境振動對納米位移台的影響，從(cong) 而提高係統的精度和穩定性。以下是幾種實現振動隔離的常用方法：
1. 被動振動隔離
被動振動隔離利用彈性體(ti) 或機械裝置來減少外界振動的傳(chuan) 遞。這些方法通常不需要電源或主動控製，維護簡單。
空氣彈簧：使用空氣彈簧或氣浮台（Pneumatic Isolation Tables），通過空氣壓力支撐位移台，使其懸浮，從(cong) 而隔離低頻振動。空氣彈簧可以提供較好的振動隔離效果，尤其在低頻段。
減震墊：在位移台下方放置高阻尼橡膠墊、矽膠墊或聚氨酯泡沫墊，能有效吸收和減小來自地麵的振動。
機械隔振器：利用彈簧和阻尼器組合的機械隔振器，通過調節彈簧剛度和阻尼係數來隔離特定頻率範圍內(nei) 的振動。
2. 主動振動隔離
主動振動隔離係統使用傳(chuan) 感器實時檢測振動，並通過執行器產(chan) 生反向力來抵消振動。此類係統通常需要電源和複雜的控製算法。
主動隔振台：主動隔振係統（Active Vibration Isolation Systems）結合了傳(chuan) 感器、控製器和執行器。傳(chuan) 感器檢測到外部振動後，控製器計算補償(chang) 信號，執行器施加反作用力，以中和振動的影響。
反饋控製：使用加速度計或地震儀(yi) 等高精度傳(chuan) 感器檢測振動信號，並通過反饋控製係統調整位移台的位置或施加反向力，以抑製振動的傳(chuan) 播。
3. 懸掛係統
吊掛係統：將納米位移台懸掛在彈性材料（如鋼絲(si) 或橡膠帶）上，使其懸浮在空氣中。懸掛係統可以有效隔離來自地麵的垂直和水平振動。
4. 環境控製
隔離室：將納米位移台放置在振動隔離室內(nei) ，隔離室的牆壁和地麵經過特殊設計，能夠有效阻擋環境振動的傳(chuan) 入。
減振地板：在實驗室地板下方安裝減振結構，或者選擇在振動較小的地下室安裝設備，以減少外部振動的影響。
5. 優(you) 化安裝位置
遠離振動源：將納米位移台遠離可能的振動源（如機械設備、交通工具）安裝，並確保台麵固定在堅固、穩定的基礎上。
減小外部幹擾：通過物理屏蔽或聲學材料來減少空氣中噪聲和聲波對係統的影響。
6. 主動和被動相結合
混合係統：現代振動隔離通常使用主動和被動相結合的方式，以實現更寬頻段的振動隔離效果。比如，在氣浮台上集成主動振動控製裝置，既能夠隔離低頻振動，又能夠主動補償(chang) 高頻振動。
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