納米位移台的應用領域有哪些?
納米位移台的應用領域有哪些?必威betwei小編為(wei) 大家介紹一下納米位移台的應用有哪些和組成。
納米位移台的特點是納米級高分辨率及精度、毫秒至亞(ya) 毫秒級快響應速度、簡便的控製方式、低成本等,因此具有非常廣泛的應用領域,如顯微成像、激光加工(晶圓切割)、微納車削加工、圖像分辨率增強、光學檢測移相器等快速微納致動應用。
納米位移係統通常由三部分組成:位移台、驅動電機、控製器。驅動電機及控製器主要決(jue) 定驅動扭矩、加減速度、信號處理、使用功能( 如掃描、圓弧插補) 等性能參數,隨著電機控製技術的提升,除了電移台機械部件以外,電機和控製器也從(cong) 很大程度上影響電移台的振動、噪音及電移台的定位精度。而位移台作為(wei) 整個(ge) 位移係統的核心,係統的主要技術指標如:位移精度、行程、直線度、負載、穩定性、適應環境、外形尺寸等均由其決(jue) 定。
由於(yu) 電移台係統相對比較複雜,往往涉及到機械設計、電子技術、控製水平、加工能力、裝配工藝等各個(ge) 方麵,所以電移台產(chan) 品雖然被廣泛應用,但是目前電移台的各項指標在國內(nei) 也被深度混淆和誤解,其中重要也是容易混淆的技術指標就是電移台的精度。
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