壓電二維納米位移台性能優勢
壓電二維納米位移台 XYMF-133-lODA，為(wei) 長行程納米平移台，具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡單，定位糟準，能在真空下使用等優(you) 點，其中XYMF-133-100A平移台可實現在XY二維空間上的準確定位，可應用於(yu) 需要納米精度運動操作及定位的各個(ge) 領域。
壓電二維納米位移台使用壓電陶瓷驅動，運動無需潤滑，並可在很廣的溫度範圍內(nei) 工作，運動分解率達到納米級，能夠步進和自描雙模式工作，在宏觀行程範圍內(nei) 達到亞(ya) 納米台辨率的定位，支持開環／閨環控製。
目前主要應用於(yu) 電子顯微鏡原位納米探針台、半導體(ti) 芯片檢測、光纖焊接、組裝、檢測與(yu) 測量、高精度激光對焦、光刻機工件台、微生物操縱手等。
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