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可以的自主研發的壓電驅動納米位移台，使用壓電陶瓷作為(wei) 運動促動元件，可以在數百毫米範圍內(nei) 實現亞(ya) 納米級別的步長。更具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從(cong) 液氦溫區（-269攝氏度）至室溫的寬溫區內(nei) 工作等優(you) 點。具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程範圍內(nei) 達到亞(ya) 納米分辨率的定位。
壓電驅動納米位移台產(chan) 品優(you) 勢
結構緊湊，高剛性。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導向係統。
室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命。
帶位移傳(chuan) 感器，提供位置和速度閉環控製。

壓電直線納米位移台MF30-30A

 

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