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納米位移台的傳感器是如何實現位置反饋的?

納米位移台通常使用多種傳(chuan) 感器來實現位置反饋,以監測和控製位移台的位置。以下是一些常見的傳(chuan) 感器技術:
壓電傳(chuan) 感器:壓電傳(chuan) 感器是一種常用的傳(chuan) 感器,可以通過壓電效應將機械位移轉換為(wei) 電信號。在納米位移台上,壓電傳(chuan) 感器可以安裝在關(guan) 鍵部位,以測量位移台的位置變化。
光幹涉傳(chuan) 感器:光幹涉傳(chuan) 感器利用幹涉原理來測量位移。例如,使用光纖幹涉儀(yi) 或激光幹涉儀(yi) ,通過測量幹涉光的相位變化來確定位移台的位置。
容差傳(chuan) 感器:容差傳(chuan) 感器(也稱為(wei) 微位移傳(chuan) 感器)通過測量傳(chuan) 感器與(yu) 參考表麵之間的電容或電感變化來檢測位移。這些傳(chuan) 感器通常采用微納加工技術製造,並具有高精度和靈敏度。
磁電傳(chuan) 感器:磁電傳(chuan) 感器利用磁電效應來測量位移。當位移台上的磁場發生變化時,磁電傳(chuan) 感器可以轉換為(wei) 電信號,並通過測量電信號來確定位移。
原子力顯微鏡(AFM)探針:在某些納米位移台中,可以使用原子力顯微鏡的探針作為(wei) 傳(chuan) 感器。AFM探針通過感知與(yu) 樣品表麵之間的相互作用力來測量位移。
這些傳(chuan) 感器技術可以提供高精度的位置反饋,以實現對納米位移台的準確控製。具體(ti) 使用哪種傳(chuan) 感器取決(jue) 於(yu) 應用需求、預算限製和性能要求等因素。
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