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納米位移台的精度可以因製造商、型號和設計而異，通常可以達到亞(ya) 納米級別到數十納米級別的範圍。這取決(jue) 於(yu) 許多因素，包括位移台的機械結構、傳(chuan) 感器、控製係統和環境條件等。
以下是一些影響納米位移台精度的關(guan) 鍵因素：
機械結構： 納米位移台的機械結構和製造工藝對其精度影響很大。高精度的加工和裝配可以確保位移台的穩定性和重複性。
傳(chuan) 感器和編碼器： 位移傳(chuan) 感器和編碼器可以測量位移台的位置變化，並提供高分辨率的反饋信號，從(cong) 而提高精度。
控製係統： 納米位移台的控製係統對其定位和穩定性至關(guan) 重要。先進的控製算法和閉環反饋係統可以實現準確的位置控製。
環境條件： 環境溫度、濕度和振動等因素會(hui) 影響納米位移台的性能。穩定的環境條件有助於(yu) 保持其精度。
剛度： 位移台的剛度可以影響其在定位過程中的撓曲和變形，因此高剛度可以提高位移台的精度。
校準和校正： 定期進行校準和校正可以消除誤差，提高位移台的精度。
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