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納米位移台本身並不具備震動隔離功能，但它們(men) 通常會(hui) 結合震動隔離係統來提高性能，特別是在對環境幹擾非常敏感的應用中。震動隔離是確保位移台高精度運行的關(guan) 鍵因素之一，特別是在納米級精度操作時，任何外部震動都可能影響結果。以下是一些常見的震動隔離方法和係統，通常與(yu) 納米位移台結合使用：
1. 氣墊隔離係統
原理：使用空氣懸浮係統（氣墊）來減緩地麵震動的傳(chuan) 遞。這種係統通過壓縮空氣或者空氣流動來提供一個(ge) 穩定的支持麵，隔離來自地麵或外部震動源的幹擾。
適用場景：常用於(yu) 高精度儀(yi) 器，尤其是在顯微鏡、納米位移台和超高精度測量係統中。
效果：氣墊係統能夠有效地減少低頻震動（如地麵震動），適用於(yu) 需要高精度的環境。
2. 彈簧隔離係統
原理：利用彈簧的物理特性（例如彈性）來減緩和隔離來自外部的震動。彈簧隔離係統可以吸收振動並將其分散到不同方向。
適用場景：通常用於(yu) 減少中頻和低頻震動的影響，常見於(yu) 實驗室環境中。
3. 主動隔振係統
原理：主動隔振係統使用傳(chuan) 感器和執行器監測和實時控製振動。這些係統通過施加與(yu) 震動相反的力量來消除或抑製震動。
適用場景：適用於(yu) 非常精密的應用，比如單分子操作、掃描電鏡等對震動非常敏感的應用。主動隔振係統可以在較高頻率和動態環境下提供有效的震動隔離。
效果：主動隔振係統提供比被動係統（如氣墊和彈簧）更好的震動隔離，特別是對於(yu) 較高頻率的震動。
4. 基礎結構的減震
原理：改進工作台、地麵或實驗室的基礎結構來減少震動傳(chuan) 遞。例如，在地麵上安裝減震材料，或使用振動消除的建材來建造實驗室。
適用場景：這種方法通常是長期方案，能夠從(cong) 源頭減少振動對設備的影響，尤其適合大型實驗室。
5. 液體(ti) 隔振係統
原理：液體(ti) 隔振通過利用液體(ti) 的物理特性來緩解震動。與(yu) 氣墊類似，但液體(ti) 隔振係統通常能提供更平穩的支撐。
適用場景：用於(yu) 需要高穩定性和低頻隔振的精密儀(yi) 器，尤其適合於(yu) 地麵震動較大的環境。
6. 微環境控製
原理：除了震動隔離，控製實驗室或工作環境中的空氣流動、溫濕度等因素也是確保納米位移台精確操作的重要因素。
適用場景：一些高精度的應用不僅(jin) 需要隔離震動，還需要精確控製空氣流動和溫度變化，這對於(yu) 避免熱漂移和空氣流動引起的幹擾非常重要。
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