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納米位移台的行程範圍一般是多少?

納米位移台的行程範圍(travel range)通常根據其設計類型、應用場景和驅動方式的不同而有所差異。以下是常見類型的納米位移台及其典型行程範圍:
1. 壓電驅動納米位移台(Piezo Stage)
行程範圍: 5 µm 到 500 µm(部分特殊設計可達 1 mm 或更高)。
特點:精度高,可達納米級甚至亞(ya) 納米級。
行程通常較短,適合高精度、小範圍的定位與(yu) 掃描。
應用場景: 原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、光纖耦合、對準等。
2. 壓電步進納米位移台(Piezo Stepper Stage)
行程範圍: 1 mm 到 50 mm(部分可達 100 mm)。
特點:結合壓電效應和步進驅動,實現較大行程和高分辨率。
適合需要更長行程且保持高精度的應用。
應用場景: 顯微鏡台、裝配與(yu) 測試係統、光學對準。
3. 電機驅動納米位移台(Motorized Nano Stage)
行程範圍: 10 mm 到 200 mm(部分特製的可達 300 mm 以上)。
特點:使用伺服電機或步進電機,行程長但分辨率稍低(通常在納米到微米級)。
適合中長行程需求,精度通常在 50 nm 到 200 nm 之間。
應用場景: 激光加工、半導體(ti) 封裝、自動化檢測設備。
4. 直線電機納米位移台(Linear Motor Stage)
行程範圍: 50 mm 到 500 mm(特定設計可超過 1 m)。
特點:無接觸驅動(無摩擦),行程長且速度高。
分辨率通常為(wei) 10 nm 到 100 nm 之間。
應用場景: 光刻、激光微加工、快速掃描係統。
5. 複合型納米位移台(Hybrid Stage)
行程範圍: 數十納米到數百毫米(視具體(ti) 組合而定)。
特點:結合壓電與(yu) 電機驅動,既能實現超高精度也能保證長行程。
應用場景: 納米級製造、微納光學器件裝配、複雜軌跡運動控製。
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