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納米位移台樣品滑動或偏移怎麽解決

納米位移台在高精度定位時,如果樣品出現滑動或偏移,會(hui) 嚴(yan) 重影響實驗或工藝結果的穩定性和重複性。這類問題多發生於(yu) 樣品安裝不牢、平台動態響應較快、或者環境幹擾等情況。
常見原因及對應解決(jue) 方法:
1. 樣品固定方式不牢
問題表現:樣品在台麵輕微震動或運動時發生位移。
解決(jue) 方案:
使用高質量的真空吸附平台,特別適用於(yu) 平整薄片樣品;
對於(yu) 非平麵或特殊樣品,可使用:
雙麵導電膠帶(適合 SEM 等需要導電固定的應用);
低殘留膠點(如 3M 微點膠);
微型夾具或定製卡扣支架;
光學應用中可選用 UV 固化膠(注意避免汙染樣品)。
2. 平台加減速過快
問題表現:樣品因慣性滑動,尤其在掃描或大步長快速定位中。
解決(jue) 方案:
優(you) 化運動曲線,加入緩啟動/緩停止(S-curve or trapezoidal profile);
在控製器中降低最大加速度和速度,平滑動態行為(wei) ;
減少快速往返動作,避免反複機械衝(chong) 擊。
3. 樣品重心不穩或支撐不均
問題表現:樣品不對稱擺放或支撐點少,易晃動。
解決(jue) 方案:
保證樣品放置重心居中,支撐點至少三點接觸;
對不規則樣品使用定製托架或泡沫填充支撐;
對高重心物體(ti) ,建議使用L型支撐或斜撐加固。
4. 平台表麵摩擦係數太低
問題表現:樣品在光滑平台麵上打滑。
解決(jue) 方案:
在平台表麵貼一層柔性防滑墊(如矽膠墊或微米級橡膠片);
更換為(wei) 具備紋理或粗糙化處理的平台托盤;
有條件的場合可微微傾(qing) 斜平台,增加摩擦力方向上的正壓力。
5. 外界幹擾
問題表現:在非運動情況下也有微小位移。
可能原因:空氣流、振動、靜電、磁場幹擾等。
解決(jue) 方案:
關(guan) 閉或隔絕氣流(如抽風罩、空調口);
使用防振平台或氣浮平台;
樣品或支架做良好接地,防止靜電吸附擾動。
6. 長時間測試中的位置漂移
可能原因:溫度變化導致熱膨脹、膠體(ti) 材料漸變、樣品重力緩慢下滑等。
應對措施:
改用低蠕變、熱穩定性強的固定材料;
做好樣品預熱或平台恒溫;
加入實時位移監測反饋,自動修正偏移。
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