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對納米位移台進行零位校準（又稱為(wei) “回零”或“原點校準”）是確保其位置測量精度和重複性的關(guan) 鍵步驟，特別是在進行高精度掃描、定位或對齊任務時。以下是常見的零位校準方法和注意事項：
常用零位校準方法：
1. 使用內(nei) 建零位傳(chuan) 感器（限位開關(guan) ）
很多納米位移台內(nei) 置原點或限位傳(chuan) 感器。
校準方法：
啟動“回零”指令，控製器會(hui) 以低速向一個(ge) 方向移動；
觸發原點開關(guan) 後停止並設當前位置為(wei) 零位；
若有需要，係統會(hui) 再做微調（反向回退再定位）以提高精度。
2. 手動設定當前位移為(wei) 零
適用於(yu) 沒有物理原點的係統，或者需要以當前點為(wei) 參考零點的情況。
校準方法：
在控製軟件或指令行輸入 SetPosition = 0，將當前位置設置為(wei) 邏輯零點；
常用於(yu) 相對運動控製中。
3. 使用外部參照標記或幹涉儀(yi) 校準
在高精度應用中，可使用激光幹涉儀(yi) 或光學標誌物輔助校準。
方法：
將位移台移動到幹涉儀(yi) 零差位置；
設置當前位置為(wei) 係統“零點”；
適用於(yu) 納米級重複定位任務。
⚠ 校準時的注意事項：
確保無外力或負載幹擾，樣品應固定牢靠；
使用閉環控製模式，保證反饋準確；
若平台具有多軸聯動，各軸應獨立回零，避免互相幹擾；
若環境溫度變化較大，應在恒溫條件下校準，以減少漂移；
對於(yu) 真空或強磁環境下的使用，需使用專(zhuan) 用無感或低幹擾傳(chuan) 感器進行校準。
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