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納米位移台的慣性行走方式是什麽?

納米位移台的“慣性行走方式”是一種基於(yu) 慣性原理的微納驅動方式,常用於(yu) 壓電納米位移係統中。它也叫做慣性驅動(Inertial Drive),其核心思想是利用壓電材料在不同速率下產(chan) 生的“粘-滑”效應,實現精密運動。
原理簡述:
慣性行走依賴於(yu) 快速與(yu) 慢速驅動的不對稱響應:
慢速驅動階段:壓電陶瓷緩慢伸長或收縮,樣品台或滑塊因為(wei) 摩擦力較大,跟隨移動。
快速驅動階段:壓電陶瓷迅速回彈,由於(yu) 加速度大,滑塊因慣性與(yu) 壓電體(ti) 脫離滑動或部分脫離,保持原位或略有滑動。
結果:整個(ge) 周期下來,滑塊產(chan) 生一個(ge) 淨的微小位移。
連續重複這個(ge) 周期,即可形成步進式運動。
特點:
無需螺杆或齒輪,適合微納尺度;
可以實現亞(ya) 微米甚至納米級的定位精度;
常見於(yu) 閉環或開環壓電納米驅動器;
驅動方式有時也叫做“stick-slip”運動。
優(you) 點:
結構緊湊,適合小空間環境;
能實現大行程與(yu) 高分辨率結合;
驅動過程無電機噪音;
耗能低,控製靈活。