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納米位移台之所以須進行防震隔振，是因為(wei) 它的工作精度非常高，通常在納米級甚至亞(ya) 納米級別，任何微小的震動都會(hui) 直接幹擾其正常運行和定位精度。
下麵是詳細原因解釋，幫助你從(cong) 原理上理解為(wei) 什麽(me) “防震”對納米位移台至關(guan) 重要：
一、納米級精度易被微振動影響
納米位移台常用於(yu) 精密掃描、定位、對準、成像等工作（如在原子力顯微鏡、掃描電鏡、光學對準係統中）。
當位移精度要求在幾個(ge) 納米以內(nei) 時，地麵輕微震動、空調共振、人員走動甚至說話聲都可能引起足以幹擾其工作的擾動。
二、環境振動的來源很多
地麵微震：城市中的地基常常有持續的低頻微震（幾十 Hz 以下），容易傳(chuan) 到工作平台上。
設備共振：周邊設備如空調、泵、壓縮機等產(chan) 生的機械振動，通過台麵或結構件耦合進係統。
人為(wei) 因素：走路、敲擊操作台、開關(guan) 門等，都會(hui) 造成局部瞬時振動。
三、振動會(hui) 引起的問題
定位誤差：原本需要精準移動 10 nm，但因震動疊加可能偏離目標位置；
成像模糊或重影：尤其在掃描類成像（如AFM、SEM、光學共聚焦）中會(hui) 造成圖像模糊、條紋、漂移；
閉環控製不穩定：反饋控製器會(hui) 對非預期振動做出反應，導致係統過補償(chang) 或振蕩；
掃描誤差放大：振動會(hui) 疊加在掃描信號上，出現“掃描偽(wei) 影”或周期性誤差。
四、如何進行防震隔振？
主動隔振平台：內(nei) 置傳(chuan) 感器和反饋機構，實時補償(chang) 震動，適合高精度場合（如 STM、AFM）。
被動氣浮隔振台：通過氣囊和質量塊隔離中低頻震動，常見於(yu) 光學桌、位移台支架下方。
防震腳墊、隔震橡膠：簡易場合下使用，能濾除高頻幹擾；
控製環境源頭：讓設備遠離震源（如機械泵），或者安排在地基穩定、人員活動少的區域。