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納米位移台的閉環校準是為(wei) 了確保傳(chuan) 感器反饋值與(yu) 實際位移高度一致，保證整體(ti) 定位精度和重複性。整個(ge) 過程通常包括以下關(guan) 鍵步驟：
1. 準備工作
確認環境穩定，避免振動、氣流、溫度波動。
預熱設備，使位移台、傳(chuan) 感器和電子係統達到熱穩定狀態。
連接高精度參考儀(yi) 器，例如激光幹涉儀(yi) 、納米級位移傳(chuan) 感器（如電容傳(chuan) 感器、位移計）。
2. 測量與(yu) 采集基準數據
設置初始位置，讓位移台從(cong) 一個(ge) 固定參考點開始移動。
以小步長掃描，比如每步1 nm、10 nm或更小，記錄每個(ge) 指令位置的反饋信號和參考測量值。
覆蓋整個(ge) 運動行程，包括正向和反向，識別是否存在滯後或非線性。
3. 誤差分析
繪製指令值 vs 實際位移曲線，觀察是否有線性誤差、非線性誤差或滯後。
計算誤差曲線，比如繪製實際值減去理論指令值後的誤差分布。
4. 建立補償(chang) 模型
如果主要是線性誤差，可以用簡單線性比例係數修正。
如果存在非線性誤差，可以建立多段線性補償(chang) 表、多項式擬合曲線或查表補償(chang) 。
有時需要同時補償(chang) 正向和反向不同軌跡（抗滯後補償(chang) ）。
5. 上傳(chuan) 補償(chang) 數據到控製器
將誤差補償(chang) 表、校準因子或補償(chang) 函數寫(xie) 入到位移台的控製器或軟件中。
部分控製係統支持自動應用補償(chang) ；也有需要用戶手動配置的。
6. 校準驗證
重新移動測試，使用同樣的激光幹涉儀(yi) 或標準位移傳(chuan) 感器測量，驗證經過補償(chang) 後的實際位移與(yu) 指令值的吻合程度。
如果誤差仍然存在，繼續細化補償(chang) 表或調整PID參數。