新聞

分析納米位移台的殘餘(yu) 振動（Residual Vibration），是定位和高速運動優(you) 化中的關(guan) 鍵一環。以下是一個(ge) 係統性的方法：
一、采集振動數據
安裝高精度傳(chuan) 感器
使用 激光幹涉儀(yi) 、電容位移傳(chuan) 感器 或 壓電加速度計 安裝於(yu) 平台關(guan) 鍵位置，記錄運動結束後的響應。
記錄閉環反饋信號
利用控製係統的內(nei) 部位置反饋數據（如從(cong) 編碼器或傳(chuan) 感器讀取的位移信號），獲取運動過程和停止後的位置誤差曲線。
使用高速數據采樣係統
保證采樣頻率遠高於(yu) 平台結構的主模態頻率（通常>5 kHz），以避免混疊效應。
二、分析方法
1. 時域分析
觀察平台停止運動後的響應曲線是否有 周期性震蕩。
利用過渡響應分析識別平台停止後是否存在欠阻尼振蕩（波動收斂慢）。
2. 頻域分析
對采集的殘餘(yu) 振動信號進行 快速傅裏葉變換（FFT），分析主要頻率成分。
可識別出殘振的固有頻率（主模態），判斷是否由於(yu) 結構共振或驅動引起。
3. 模態分析
通過實驗模態分析（EMA），獲取係統的模態頻率和阻尼比。
判斷哪些模態被激發，並分析其對殘餘(yu) 振動的貢獻。
4. 包絡分析
對殘餘(yu) 震蕩信號進行包絡解調，可用於(yu) 提取小幅高頻模態殘振，尤其在機械噪聲背景中有效。