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納米位移台常見的非線性誤差主要包括以下幾種類型：
1. 滯回誤差（Hysteresis）
表現：當輸入信號增加和減少時，輸出位移路徑不一致，存在遲滯現象。
原因：多由壓電材料的內(nei) 在性質引起，是典型的路徑依賴型非線性。
2. 蠕變誤差（Creep）
表現：在恒定驅動電壓下，位移隨時間緩慢變化，呈非線性漂移。
原因：壓電材料或機械結構在加載後發生緩慢形變。
3. 非線性驅動響應
表現：位移與(yu) 驅動電壓不呈線性關(guan) 係（尤其在壓電元件或磁致伸縮元件中常見）。
原因：致動器材料本身的非線性、電源輸出不穩定等。
4. 熱漂移引起的非線性
表現：係統溫度變化導致位移響應偏移，非線性程度隨時間變化。
原因：熱膨脹、電子元件溫度依賴性、電纜受熱拉伸等。
5. 機械耦合誤差
表現：一個(ge) 方向運動導致其他方向也發生微小位移。
原因：結構設計中各軸耦合、裝配不對稱、支撐剛性不足。
6. 死區和飽和
表現：在某些輸入電壓範圍內(nei) 無響應（死區），或超出範圍後響應失效（飽和）。
原因：驅動係統或傳(chuan) 感器的限製、控製器輸出受限等。
這些非線性誤差會(hui) 影響定位精度、重複性和軌跡跟蹤能力，通常可通過以下方式減小：
應用閉環控製（如配合電容傳(chuan) 感器）；
采用前饋+反饋補償(chang) 算法；
優(you) 化係統材料與(yu) 結構設計；
加熱控溫、恒溫工作環境。