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選擇納米位移台的行程範圍需要根據實驗的具體(ti) 需求進行綜合評估，主要考慮以下幾個(ge) 方麵：
1. 實驗目標決(jue) 定行程範圍
小行程（＜100 μm）：
適用於(yu) 高精度定位或微小區域掃描，如原子力顯微鏡（AFM）探針校準、納米壓痕測試等。這類應用通常需要亞(ya) 納米級分辨率，壓電陶瓷驅動位移台是理想選擇。
中等行程（100 μm~5 mm）：
適合表麵形貌成像、生物細胞操作或微加工等場景。此時需平衡精度和運動範圍，壓電電機或絲(si) 杠驅動較為(wei) 常見。
大行程（＞5 mm）：
用於(yu) 宏觀定位，如半導體(ti) 晶圓檢測、大麵積樣品掃描。通常采用伺服電機+滾珠絲(si) 杠方案，但需注意精度可能降低至微米級。
2. 精度與(yu) 速度的權衡
高精度需求（如1 nm分辨率）：
優(you) 先選擇壓電陶瓷驅動，但行程通常較小（≤200 μm）。閉環控製（如電容傳(chuan) 感器反饋）可進一步提升穩定性。
快速掃描需求（如每秒數毫米）：
音圈電機或直線電機更適合，但需注意加速度和振動對精度的影響。
3. 負載與(yu) 環境適應性
負載能力：
樣品或附加設備的重量需小於(yu) 位移台的負載（如小行程台負載常＜1 kg，大行程台可達5~10 kg）。
環境條件：
真空兼容性：壓電陶瓷或無刷電機驅動更適合真空環境。
溫度穩定性：陶瓷材料比金屬更耐熱膨脹，適合溫控實驗。
4. 動態性能考量
掃描頻率：
高頻往複運動（如＞10 Hz）需選擇低慣量的壓電驅動或音圈電機。
抗振動能力：
若實驗環境存在振動（如光學平台外），需選擇剛性結構或主動隔振設計。
5. 實際選型步驟
明確核心需求：
例如：“需在5 mm範圍內(nei) 實現50 nm步進，負載500 g”。
排除不匹配選項：
壓電陶瓷台行程不足（＜1 mm），故選中行程壓電電機或絲(si) 杠台。
驗證動態性能：
檢查速度是否滿足掃描時間要求，加速度是否避免振動。
環境與(yu) 擴展功能：
如多軸聯動需行程匹配，或真空環境下選擇無潤滑設計。