納米位移台的防震設計有哪些常用方法？
納米位移台對環境振動非常敏感，防震設計是確保其高精度、高穩定性運行的關(guan) 鍵。常見的納米位移台防震設計方法主要包括以下幾類：
減振隔離係統
使用彈簧、橡膠墊、空氣懸掛等減振元件，將納米位移台與(yu) 地麵振動隔離開來。
空氣減振台（氣浮台）是實驗室中較常用的隔振方式，能有效隔絕低頻振動。
剛性支撐結構設計
位移台本體(ti) 采用高剛性材料和結構，減少自身因共振產(chan) 生的振動放大。
結構設計時通過有限元分析（FEA）優(you) 化形狀，避開易產(chan) 生共振的頻率段。
主動振動控製
配備傳(chuan) 感器實時監測振動信號，結合主動執行器（如壓電執行器）對抗振動幹擾。
主動控製係統能有效補償(chang) 低頻、中頻振動，提升穩定性。
環境振動源管理
實驗室環境選址避免機械設備、交通噪聲等振動源附近。
使用專(zhuan) 用防振地板或安裝阻尼地墊減少環境傳(chuan) 播的振動。
係統質量與(yu) 阻尼匹配
通過增加係統質量和阻尼，降低振動的傳(chuan) 遞效率。
常用阻尼材料包括粘彈性材料、阻尼膠等。
機械結構的緊固與(yu) 減小自由度
保證所有連接部件牢固緊固，避免鬆動引發共振。
限製多餘(yu) 自由度，減少不必要的運動和振動響應。