
如何判斷納米位移台是否需要重新校準?
判斷納米位移台是否需要重新校準,通常可以從(cong) 以下幾個(ge) 方麵入手:
1. 定位精度出現下降
如果你發現以下現象,可能說明校準已經偏離標準:
位移台移動到某一預設坐標點後,實際位置偏差超出規格要求(比如超過納米級誤差容限);
多次移動到同一點,重複定位的偏差變大;
掃描圖像出現明顯錯位或畸變,尤其在大範圍掃描或多次返回同一位置時。
2. 反饋位置與(yu) 實際位置不符
當使用閉環傳(chuan) 感器(如電容傳(chuan) 感器、光學編碼器)進行反饋控製時,如果控製軟件顯示的位置與(yu) 顯微鏡、幹涉儀(yi) 等實際觀測位置不一致,說明可能需要重新校準。
3. 環境或係統發生變化
下列情況發生後建議進行校準:
位移台長期未使用或經過長時間運行;
係統經曆過搬運、震動、溫度變化、潮濕等外界幹擾;
更換了控製器、傳(chuan) 感器或樣品托盤;
固件或軟件升級之後,位移模型發生變化。
4. 係統自檢提示或誤差累積
有些控製係統(如使用數字信號處理器的控製器)會(hui) 在初始化或運行中提供自檢誤差報告或校準建議;
如果你運行定位路徑後,累計誤差隨路徑延長而變大,也可能是因為(wei) 線性比例、偏移、非線性補償(chang) 失效,需要重新標定。
5. 定期維護計劃中規定的周期
高精度位移係統一般建議定期校準(例如每半年或一年一次),尤其在對結果精度有嚴(yan) 格要求的應用場景(如納米定位、掃描成像、微納加工等)中更為(wei) 重要。