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納米位移台的機械結構對回差有非常直接的影響，因為(wei) 回差主要來源於(yu) 機械部件的非理想行為(wei) 。以下是詳細分析：
一、關(guan) 鍵機械因素
絲(si) 杠/導軌的間隙
絲(si) 杠或直線導軌存在微小間隙或配合誤差。
運動方向改變時，間隙需要重新被填充，導致位移滯後，即回差。
間隙越大，回差越明顯。
驅動機構的摩擦特性。
摩擦力大小、摩擦不均勻會(hui) 引起運動非線性。
高摩擦力或不均勻摩擦會(hui) 在正反方向運動時產(chan) 生不同位移。
彈性變形
機械連接件（如夾具、支架、承載平台）在力作用下會(hui) 產(chan) 生微小彈性形變。
改變運動方向時，彈性回彈會(hui) 導致位置偏差。
機械慣性與(yu) 阻尼。
在高速或加速運動下，慣性和阻尼效應會(hui) 引起瞬時位移偏差。
回程時，慣性殘留也會(hui) 增加回差。
螺紋結構或齒輪齧合精度。
對於(yu) 螺旋驅動或齒輪驅動的位移台，螺紋導程誤差或齒輪間隙也會(hui) 直接轉化為(wei) 回差。
二、常見機械結構設計對回差的影響
直線電機/氣浮導軌
無接觸摩擦，理論上回差極小。
機械彈性和控製精度仍可能產(chan) 生微小回差。
滾珠絲(si) 杠驅動
摩擦小、效率高，但仍存在間隙和螺紋誤差。
高精度絲(si) 杠和預緊結構可減少回差。
Flexure（柔性鉸鏈）結構。
通過彈性變形實現運動，無機械接觸間隙。
回差幾乎可以忽略，但行程受限製。
三、減少機械回差的設計策略
預緊結構：通過螺母或彈簧消除間隙。
高精度導軌和絲(si) 杠：降低間隙和螺紋誤差。
柔性鉸鏈結構：減少摩擦和機械滯後。
結構加固：減小彈性變形，提高剛性。
對稱設計：減小力不平衡引起的偏移。