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納米位移台調整移動速度的常用方法和注意事項，內(nei) 容精煉、工程可操作：
一、降低自身運動引起的振動
平滑加減速
避免突然啟動或停止。
在控製軟件中設置加速度/減速度 Ramp。
對壓電或步進位移台尤為(wei) 重要，可減少超調和機械共振。
降低移動速度
高速移動易產(chan) 生振動和機械噪聲。
掃描或定位盡量選擇低速模式。
優(you) 化運動路徑
避免長距離高速連續移動。
對重複掃描，可分段移動並加入停頓。
二、減小外界環境振動
安裝減震平台
氣浮桌、橡膠墊、阻尼板可隔離地麵振動。
尤其適合高分辨 SEM 或 AFM 配套的納米位移台。
遠離機械噪聲源
避免空調、真空泵、風扇、電機等靠近。
對震動敏感的實驗，可采用軟管延長管道或遠程泵。
固定支撐結構
位移台和樣品支架應緊固，避免鬆動。
輕微鬆動也會(hui) 被放大為(wei) 微米級振動。
三、利用閉環控製
開啟光柵或電容傳(chuan) 感器閉環反饋。
閉環可實時修正位移誤差，降低環境和機械振動影響。
閉環模式尤其在高速掃描和高精度定位下效果明顯。
四、溫度和熱擾動管理
持續運動會(hui) 產(chan) 生自發熱，導致熱膨脹或零漂。
預熱位移台至工作溫度，或運動間加入等待時間。
實驗室溫度保持穩定，可進一步降低熱致振動。