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納米位移台在高精度定位和掃描過程中，容易受到自身運動或外界振動的幹擾，導致微米級或納米級誤差。為(wei) 了保證測量和操作的穩定性，可以采取以下措施：
平滑加減速
避免突然啟動或停止，在控製軟件中設置加速度/減速度 Ramp，可減少超調和機械共振。
降低移動速度
高速移動易產(chan) 生振動，精密掃描或定位盡量選擇低速模式。
減小外界振動
使用減震平台或橡膠墊，遠離泵、風扇等噪聲源，固定位移台和樣品支架。
閉環控製
開啟光柵或電容反饋，可實時修正位移誤差，降低環境幹擾。
溫度管理
預熱位移台至工作溫度，避免熱膨脹或零漂，實驗室溫度保持穩定。