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納米位移台在做單軸運動時，如果出現橫向偏移，通常來自機械耦合、導軌誤差或驅動不均勻。要提高運動的純直線性，可從(cong) 結構、控製和環境三方麵著手。
降低納米位移台橫向偏移的方法
使用閉環反饋控製
開啟光柵或電容傳(chuan) 感器反饋，可實時修正橫向漂移，讓位移更加貼近理想直線。
優(you) 化負載安裝位置
將負載放在運動中心軸線附近，避免偏心安裝導致橫向力矩，從(cong) 而減小橫向偏移。
降低移動速度並平滑加減速
高速運動和突變加速度會(hui) 引起慣性側(ce) 向力，降低速度並設置緩啟動/緩停止可減小偏移量。
改善機械導軌狀態
導軌磨損、預緊力不足或滑塊鬆動都會(hui) 導致橫向串動，定期檢查緊固與(yu) 潤滑可顯著改善。
減小外界幹擾
使用減震平台，遠離泵和風扇等振源；保持溫度穩定以減少熱致微偏移。
避免橫向力輸入
控製樣品支架、線纜、探針等附件的位置，避免拉力或側(ce) 向應力推動位移台產(chan) 生偏移。