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提升納米位移台的重複運動準確度，關(guan) 鍵在於(yu) 降低係統誤差、機械誤差以及環境幹擾。以下方法可顯著提高重複定位能力，適用於(yu) 壓電、步進、電機混合型位移台。
提升位移台重複運動準確度的方法
開啟閉環控製
使用光柵尺或電容式反饋傳(chuan) 感器，由控製器實時修正位置誤差，可顯著提升重複定位精度。
減少回程誤差（Backlash）
固定運動方向，例如定位時盡量“同向接近目標”；避免來回切換方向導致機械間隙誤差放大。
優(you) 化加減速參數
設置平滑加速/減速，減少過衝(chong) 與(yu) 震蕩，提高每次到位的穩定性。
降低移動速度
慢速模式更易穩定停靠，有助於(yu) 提高重複到位一致性，尤其在納米級定位中效果明顯。
減小環境幹擾
使用減震平台，遠離泵或風扇；保持溫度穩定，減少熱膨脹導致的重複性漂移。
預熱與(yu) 穩定時間
位移台和控製器預熱後性能更穩定；每次到位後可加入短暫停留，讓係統完成收斂。