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納米位移台運動軌跡不直，通常來自以下幾類原因疊加：
軸間耦合：隻驅動一個(ge) 方向，其他方向卻跟著動。多見於(yu) 柔性鉸鏈解耦不徹底、壓電堆安裝偏心、結構剛度不對稱。典型特征是軌跡呈穩定的斜線或弧線，重複性很強。
柔性結構或裝配誤差：鉸鏈加工誤差、裝配預緊不均、台麵受力不對稱，會(hui) 導致“先天不直”。這種情況與(yu) 掃描速度關(guan) 係不大，慢速也彎。
壓電遲滯與(yu) 蠕變：起步、換向或長時間運動後軌跡逐漸跑偏。開環比閉環嚴(yan) 重，時間越長越明顯。
驅動不一致（多致動器結構）：不同壓電堆增益、行程或放大器輸出不一致，運動中產(chan) 生微旋轉，看起來像走彎線。
控製帶寬不足：速度一快就不直，減速後明顯改善。屬於(yu) 動態誤差，控製跟不上指令。
掃描波形問題：鋸齒波、急加減速、無平滑過渡，換向瞬間容易偏航。
位置傳(chuan) 感器問題：傳(chuan) 感器非線性、安裝偏心或標定不全行程，會(hui) “測歪→控歪”。
熱漂移與(yu) 環境影響：自熱、溫漂、氣流、振動導致軌跡緩慢彎曲，重複性較差。