納米位移台掃描回程不一致原因
納米位移台在掃描時回程不一致，常見原因主要有 機械、控製和環境三類，下麵詳細分析：
機械原因
回差（Backlash）：絲(si) 杆、齒輪或導軌存在間隙，單方向運動後反方向回程會(hui) 出現位置偏差。
摩擦不均或卡滯：摩擦力大小變化或潤滑不均會(hui) 導致回程速度和末端位置不同。
彈性變形：柔性結構或鉸鏈在受力時微小形變，回程方向受力不同，產(chan) 生位置偏差。
控製係統原因
開環驅動：如果位移台沒有閉環反饋，回程位置完全依賴驅動信號，容易出現累積誤差。
PID 參數不合適：回程時加速度或減速度不匹配，控製器不能快速準確調整，造成回程偏差。
掃描速度過高：高速度掃描會(hui) 產(chan) 生動態滯後和慣性效應，回程時偏差更明顯。
環境因素
溫度變化：台體(ti) 受熱膨脹或冷縮，回程時位置偏移。
外部振動或空氣擾動：尤其在微米/納米級定位下，回程方向受力不同，導致末端位置偏差。