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納米位移台在做直線運動時出現偏移，是典型的精密運動誤差問題，通常不是單一原因，而是機械、控製和環境因素共同作用的結果。可以從(cong) 以下幾個(ge) 角度分析和處理：
機械因素
導軌或絲(si) 杆間隙：機械間隙、回差或導軌不平直，會(hui) 導致台體(ti) 在正向移動時偏離理想直線。
柔性鉸鏈或支撐結構變形：載荷、慣性或台體(ti) 重量造成微小彎曲，尤其在長行程或高速運動時更明顯。
摩擦不均：正反方向摩擦力不同，運動時容易出現微小偏移。
控製因素
閉環控製不足：如果是開環驅動，控製器隻按指令運動，不知道實際偏離，會(hui) 直接導致直線偏移。
PID 參數不合適：增益過低或積分/微分設置不合理，會(hui) 讓控製係統無法及時糾正橫向偏差。
耦合效應：多軸位移台間存在交叉耦合，例如 X 運動引起 Y 方向微動，需要軟件補償(chang) 或多軸校準。
環境因素
溫度變化：台體(ti) 或支撐件熱膨脹，長行程運動時偏移累積。
外部振動：微振動或桌麵抖動會(hui) 疊加到微米/納米級運動上，表現為(wei) 直線偏移。
負載偏心：樣品重量或抓取裝置偏心，會(hui) 讓台體(ti) 沿不受力方向微偏。
解決(jue) 方法
機械優(you) 化：檢查導軌、絲(si) 杆、鉸鏈，減小間隙和摩擦不均；保證載荷居中，支撐剛性足夠。
控製優(you) 化：啟用閉環控製，調節 PID 參數，增加前饋或耦合補償(chang) 。
環境控製：保持恒溫、防振、減少外界擾動。
標定與(yu) 補償(chang) ：通過標定直線軌跡，建立誤差補償(chang) 表或軟件補償(chang) ，針對特定行程修正偏移。