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納米位移台按固定步長走，但和刻度對不上，通常不是“步長設錯”，而是實際位移和指令位移之間存在係統性偏差，常見原因有這些。
常見的是開環誤差或標定不準。控製器發出的步長隻是理論值，如果位移台沒有閉環反饋，絲(si) 杆傳(chuan) 動誤差、壓電遲滯、驅動增益偏差都會(hui) 讓實際位移逐步偏離刻度。走得越多，累計誤差越明顯。
其次是機械回差和摩擦影響。如果每一步都是單向還好，一旦涉及正反向，回差會(hui) 直接吃掉一部分步長。在微小步長下，靜摩擦也會(hui) 讓某些步指令“沒走出來”，導致刻度看起來對不上。
驅動和控製分辨率也是常見原因。設定的步長已經接近或小於(yu) 驅動器最小輸出分辨率，控製信號被量化，實際位移呈不規則跳變，刻度自然無法一一對應。
如果是壓電位移台，遲滯和蠕變影響很大。相同步長的電壓變化，在不同位置、不同方向下對應的位移並不一致，尤其在開環或未做遲滯補償(chang) 時，刻度對不上是典型現象。
還有一個(ge) 容易被忽略的問題是刻度本身。無論是光學標尺、軟件顯示刻度，還是外部測量參考，如果沒有和位移台當前狀態重新標定，也可能是“刻度準，台不準”，或者“台準，刻度不準”。