納米位移台微小掃描出現鋸齒的原因
納米位移台在做微小掃描時出現鋸齒，一般不是單一原因造成的，而是機械、驅動和控製多方麵因素疊加的結果。不同品牌、不同結構的納米位移台在低速和小位移段的表現差異很大，使用前需要結合具體(ti) 型號判斷，選型和調校都要看好。
常見的是摩擦和爬行效應。在極小位移、低速運動時，靜摩擦占主導，位移台會(hui) 出現“停一下、跳一下”的運動狀態，反饋到掃描軌跡上就像鋸齒。
驅動信號分辨率不足也會(hui) 導致鋸齒。驅動器的 DAC 分辨率有限，指令在微小步進時呈階梯狀輸出，位移台實際運動就不連續，掃描曲線自然會(hui) 出現周期性起伏。
傳(chuan) 感器噪聲和量化誤差同樣會(hui) 放大問題。位移已經很小，傳(chuan) 感器本身的噪聲、非線性或分辨率限製，會(hui) 被控製係統當成真實位移進行修正，造成反複微調，看起來就是鋸齒。
閉環參數不合適也很常見。積分或比例增益過大時，係統在微位移段容易來回修正，形成高頻抖動；增益過小又會(hui) 導致跟隨不連續，兩(liang) 種情況都會(hui) 表現為(wei) 掃描不平滑。
掃描速度設置不合理也會(hui) 放大鋸齒。速度太低時更容易落入爬行區，適當提高掃描速度，反而可能讓軌跡更平滑。
外界振動和電噪聲在微掃描時影響非常明顯。地麵振動、線纜拖拽力、驅動器或傳(chuan) 感器的電噪聲，都會(hui) 在小位移尺度下直接體(ti) 現成鋸齒紋。