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納米位移台方向切換後位置偏差原因

納米位移台在方向切換後出現位置偏差,主要原因通常和係統慣性、滯後、控製環特性和機械結構有關(guan) 。具體(ti) 表現和機理如下:
機械滯後:絲(si) 杆、齒輪或導軌存在微小間隙,正向運動和反向運動之間有空行程,方向切換時會(hui) 產(chan) 生瞬時偏差。
控製環響應滯後:閉環控製中,PID 或其他控製器需要時間反應,當方向快速切換時,控製器輸出滯後,導致位置瞬時偏離目標。
慣性效應:位移台負載或運動平台有慣性,突然換方向時,慣性會(hui) 使台子“超衝(chong) ”或出現短時偏差,尤其在高速運動下更明顯。
驅動器和編碼器精度:步進電機或線性電機的分辨率和編碼器反饋精度有限,快速切換時可能出現量化誤差或信號滯後。
環境因素:溫度變化、濕度或真空環境下潤滑狀態變化,會(hui) 改變摩擦特性,也可能在方向切換時造成小偏差。