壓電驅動納米位移台應用領域
壓電驅動納米位移台的出現，解決(jue) 了傳(chuan) 統納米台行程小而微米電動台分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體(ti) 市場、先進製造業(ye) 、生物醫藥行業(ye) 、光學、通信等領域已廣泛應用。
納米位移台的工作原理
納米位移台主要采用運動控製，由光、機、電、控製軟件等多領域技術集成的運動控製技術。
內(nei) 部由一個(ge) 或多個(ge) 壓電陶瓷作為(wei) 驅動，其產(chan) 生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產(chan) 生的運動傳(chuan) 遞和放大；經電容傳(chuan) 感器將運動信息傳(chuan) 遞給控製係統，再由控製係統對該運動進行修正、補償(chang) 和控製；在對運動係統進行閉環控製時，可實現納米、亞(ya) 納米級別的運動分辨率和運動控製精度。
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